VAPOR GROWTH APPARATUS,申请号JP19890081410-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH02262331(A)	申请公布日期	1990.10.25
申请号	JP19890081410	申请日期	1989.04.03
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	KATAOKA TAKASHI;SATO HIROSUKE
分类号	H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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