DISCHARGE TYPE GAS LASER EQUIPMENT,申请号JP19890084294-传众专利搜索

发明名称	DISCHARGE TYPE GAS LASER EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPH02262386(A)	申请公布日期	1990.10.25
申请号	JP19890084294	申请日期	1989.04.03
申请人	NIKON CORP	发明人	MOGI KIYOSHI
分类号	H01S3/097;H01S3/036;(IPC1-7):H01S3/097	主分类号	H01S3/097
代理机构		代理人
主权项
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