发明名称 POSITIVE TYPE PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH02262660(A) 申请公布日期 1990.10.25
申请号 JP19890084476 申请日期 1989.04.03
申请人 NIPPON ZEON CO LTD 发明人 YAJIMA MIKIO;NAKAMURA KENJI
分类号 G03F7/022;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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