| 发明名称 |
METHOD OF FORMING A TWO-LAYER METAL FILM PATTERN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2198149(B) |
申请公布日期 |
1990.10.24 |
| 申请号 |
GB19870023519 |
申请日期 |
1987.10.07 |
| 申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HIROFUMI * NAKANO |
| 分类号 |
H01L21/3213;C23C14/04;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/266;H01L21/338 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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