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发明名称 BILAYER LITHOGRAPHIC PROCESS
摘要
申请公布号 EP0274757(A3) 申请公布日期 1990.10.24
申请号 EP19870119415 申请日期 1987.12.31
申请人 EASTMAN KODAK COMPANY 发明人 MCCOLGIN, WILLIAM CAREY C/O EASTMAN KODAK COMPANY;BRUST, THOMAS BROWNELL C/O EASTMAN KODAK COMPANY;DALY, ROBERT CURTIS C/O EASTMAN KODAK COMPANY;JECH, JOSEPH, JR. C/O EASTMAN KODAK COMPANY;LINDHOLM, ROBERT DERWOOD C/O EASTMAN KODAK COMPANY
分类号 G03F1/00;G03F1/08;G03F7/039;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/02 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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