发明名称 VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON ARSEN- ODER ANTIMONSILIKATGLAS-QUELLSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD236619(C2) 申请公布日期 1990.10.24
申请号 DD19850275514 申请日期 1985.04.24
申请人 VEB HALBLEITERWERK,DD 发明人 SCHEIT,UWE,DD;EGGERS,KATJA,DD;HABERSTOCK,EGBERT,DD
分类号 H01L21/205;H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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