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发明名称
VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON ARSEN- ODER ANTIMONSILIKATGLAS-QUELLSCHICHTEN
摘要
申请公布号
DD236619(C2)
申请公布日期
1990.10.24
申请号
DD19850275514
申请日期
1985.04.24
申请人
VEB HALBLEITERWERK,DD
发明人
SCHEIT,UWE,DD;EGGERS,KATJA,DD;HABERSTOCK,EGBERT,DD
分类号
H01L21/205;H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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