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发明名称 MULTIPURPOSE GASEOUS DETECTOR DEVICE FOR ELECTRON MICROSCOPES
摘要
申请公布号 EP0275306(B1) 申请公布日期 1990.10.24
申请号 EP19870905370 申请日期 1987.07.30
申请人 ELECTRO-SCAN CORPORATION 发明人 DANILATOS, GERASIMOS, D.
分类号 G01N23/225;G01Q30/02;G01Q30/12;G01Q30/16;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28;H01J49/06;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
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