SILICON-BASED MASS AIRFLOW SENSOR.

摘要

Un capteur d'écoulement massique d'air est produit sur un substrat semi-conducteur (18) et comprend un diaphragme diélectrique (1), un rebord en silicium (2) à canal p dopé avec un agent anti-décapant, des éléments de chauffage (3) à pellicules minces, des éléments (4-7) de détection de la température et des puces à bords inclinés (18). Le diaphragme diélectrique (1) est formé de minces couches intercalées (32) d'oxyde de silicium et de nitrure de silicium et assure une excellente isolation thermique des éléments de détection (4-7) et de chauffage (3) du capteur. Les dimensions du diaphragme (1), y compris son épaisseur, sont déterminées avec précision grâce à l'utilisation des rebords (2) en silicium à canal p fortement dopé qui aident à assurer une performance uniforme et reproductible du capteur.