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发明名称 REJISUTOEKIKYOKYUSOCHI
摘要
申请公布号 JPH0248137(B2) 申请公布日期 1990.10.24
申请号 JP19860054312 申请日期 1986.03.12
申请人 TOSHIBA KK;TOSHIBA MAIKURO EREKUTORONIKUSU KK 发明人 ROKUSHA TERUMI;UKIANA TETSUHIRO
分类号 B05C11/10;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/10
代理机构 代理人
主权项
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