发明名称 PRODUCTION OF THIN SUPERCONDUCTING FILM
摘要
申请公布号 JPH02259078(A) 申请公布日期 1990.10.19
申请号 JP19890083101 申请日期 1989.03.31
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 USUKI TATSURO;YASUI ICHIRO;SUZUKI HIROSHI;YOSHISATO MASANOBU
分类号 C23C20/06;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C23C20/06
代理机构 代理人
主权项
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