发明名称 |
PRODUCTION OF THIN SUPERCONDUCTING FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02259078(A) |
申请公布日期 |
1990.10.19 |
申请号 |
JP19890083101 |
申请日期 |
1989.03.31 |
申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
USUKI TATSURO;YASUI ICHIRO;SUZUKI HIROSHI;YOSHISATO MASANOBU |
分类号 |
C23C20/06;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C20/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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