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发明名称 FORMATION OF TITANIUM NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH02259073(A) 申请公布日期 1990.10.19
申请号 JP19890082906 申请日期 1989.03.31
申请人 SHARP CORP;TARUI YASUO 发明人 ISHIHARA KAZUYA;TARUI YASUO
分类号 C23C16/34;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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