发明名称 |
PROCEDE DE NEUTRALISATION DES ATOMES ACCEPTEURS DANS INP DE TYPE P |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2635611(B1) |
申请公布日期 |
1990.10.19 |
申请号 |
FR19880010983 |
申请日期 |
1988.08.18 |
申请人 |
CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE;ETAT FRANCAIS CNET |
发明人 |
BENOIT ROSE;ANDREI MIRCEA;JACQUES CHEVALLIER;JEAN-CLAUDE PESANT |
分类号 |
H01L21/205;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/324;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/263 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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