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发明名称 EKISOEPITAKISHARUSEICHOHOHO
摘要
申请公布号 JPH0247439(B2) 申请公布日期 1990.10.19
申请号 JP19840225840 申请日期 1984.10.29
申请人 SHOWA DENKO KK 发明人 MURASATO SHIGETAKA;MATSUZAKI ATSUSHI
分类号 C30B19/00;C30B29/40;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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