| 发明名称 |
XSENEIZOZOFUKUKINONYURYOKUHATSUKOSUKURIINNOSEIZOHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0247056(B2) |
申请公布日期 |
1990.10.18 |
| 申请号 |
JP19800101050 |
申请日期 |
1980.07.23 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
UERUNAA BINTEITSUHI;HERUMAN KURISUTOGAU |
| 分类号 |
H01J29/38;G03F7/00;G21K4/00;H01J9/22 |
主分类号 |
H01J29/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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