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发明名称 TASOHAISENKOZOTAINOSEIHO
摘要
申请公布号 JPH0247102(B2) 申请公布日期 1990.10.18
申请号 JP19850104035 申请日期 1985.05.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUKUYAMA SHUNICHI;YONEDA YASUHIRO;MYAGAWA MASASHI;NISHII KOTA;MATSURA AZUMA
分类号 H01L21/31;H01L21/312;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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