| 摘要 |
<p>Der Drucksensor (10) besteht aus einem Grundkörper (12) und einer Membran (11), die im Umfangsbereich unter Bildung einer Kammer (14) miteinander verbunden sind. Die vom Grundkörper abgewandte Fläche der Membran ist einem Medium ausgesetzt, dessen Druck gemessen werden soll. Zum Schutz der Membran gegen Korrosion oder Abrasion ist auf die dem Medium ausgesetzte Fläche der Membran eine Schicht (17) aus Siliciumkarbid aufgebracht, vorzugsweise durch chemische Gasphasenabscheidung.</p> |
