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发明名称 VORRICHTUNG ZUR AUFNAHME UND HALTERUNG VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE3912296(A1) 申请公布日期 1990.10.18
申请号 DE19893912296 申请日期 1989.04.14
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 ZEJDA, JAROSLAV, 6458 RODENBACH, DE;SCHUHMACHER, MANFRED, 8755 ALZENAU, DE
分类号 C23C14/50;C23C14/56;H01L21/683 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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