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发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG EINER OXYDSCHICHT AUF EINER OBERFLAECHE AUS SILICIUM.
摘要
申请公布号 DE3579637(D1) 申请公布日期 1990.10.18
申请号 DE19853579637 申请日期 1985.06.27
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 CHEN, TEH-YI JAMES;BHATTACHARYYA, ANJAN;STACY, WILLIAM TURLAY;VORST, CHARLES JOHAN;SCHMITZ, ALBERT, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/316;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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