发明名称 A PROCESS FOR THE GROWTH OF III-V GROUP COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL OF A SI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0297867(A3) 申请公布日期 1990.10.17
申请号 EP19880305944 申请日期 1988.06.30
申请人 NEC CORPORATION 发明人 MATSUMOTO, TAKASHI
分类号 C30B25/02;(IPC1-7):C30B25/02;C30B29/40 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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