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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR ELECTRICAL MEASUREMENT FOR CHARACTERISTIC OF WAFER
摘要
申请公布号 JPH02257071(A) 申请公布日期 1990.10.17
申请号 JP19890076628 申请日期 1989.03.30
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO LTD 发明人 USAMI AKIRA;FUJIMURA MINEO
分类号 G01R27/00;H01L21/66 主分类号 G01R27/00
代理机构 代理人
主权项
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