| 发明名称 |
GERMANIUM THIN FILM N-TYPE CONDUCTOR AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02256282(A) |
申请公布日期 |
1990.10.17 |
| 申请号 |
JP19890077755 |
申请日期 |
1989.03.29 |
| 申请人 |
ANRITSU CORP |
发明人 |
NAITOU YOSHINOBU;UCHIDA YASUJI;KOTADO SETSUO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/324;H01L29/84;H01L35/14 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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