发明名称 SURFACE TREATMENT APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH02256235(A) 申请公布日期 1990.10.17
申请号 JP19890278571 申请日期 1989.10.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHINO HIROTAKE;HAYASAKA NOBUO;OKANO HARUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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