| 发明名称 |
APPARATUS UTILIZING CHARGED PARTICLES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2194857(B) |
申请公布日期 |
1990.10.17 |
| 申请号 |
GB19870017806 |
申请日期 |
1987.07.28 |
| 申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SHUJI * NAKAO |
| 分类号 |
H01L21/302;C23C14/22;C23C14/48;H01J37/02;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/265;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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