发明名称 PRODUCTION OF Y-CONTAINING SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02255524(A) 申请公布日期 1990.10.16
申请号 JP19890077184 申请日期 1989.03.28
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHITAKE TSUTOMU;SATO TETSURO;FUJITA JUNICHI;MIURA SADAHIKO
分类号 C04B41/87;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/08;C23C14/24;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
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