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经营范围
发明名称
ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02256139(A)
申请公布日期
1990.10.16
申请号
JP19890077284
申请日期
1989.03.29
申请人
SONY CORP
发明人
TAKIZAWA MASAAKI;KONISHI MORIKAZU
分类号
H01J27/26;H01J37/08
主分类号
H01J27/26
代理机构
代理人
主权项
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