发明名称 PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6278824(A) 申请公布日期 1987.04.11
申请号 JP19850218656 申请日期 1985.09.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HOSHINO EIICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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