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经营范围
发明名称
PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS6278824(A)
申请公布日期
1987.04.11
申请号
JP19850218656
申请日期
1985.09.30
申请人
FUJITSU LTD
发明人
HOSHINO EIICHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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