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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02254755(A) 申请公布日期 1990.10.15
申请号 JP19890075775 申请日期 1989.03.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 ISHIKAWA KATSUYA
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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