PRODUCTION OF THIN FILM OF METAL OR METAL OXIDE,申请号JP19890073934-传众专利搜索

发明名称	PRODUCTION OF THIN FILM OF METAL OR METAL OXIDE
摘要
申请公布号	JPH02254172(A)	申请公布日期	1990.10.12
申请号	JP19890073934	申请日期	1989.03.28
申请人	HITACHI LTD	发明人	OKAMOTO HIROSHI;TAKATANI SHINICHIRO;ISHIKAWA AKIRA;MIYAUCHI KATSUMI
分类号	C23C20/00	主分类号	C23C20/00
代理机构		代理人
主权项
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