发明名称 CRYSTAL GROWTH METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02253685(A) 申请公布日期 1990.10.12
申请号 JP19890075718 申请日期 1989.03.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HATTORI AKIRA;SONODA TAKUJI
分类号 H01L21/203;H01S5/00 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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