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发明名称 SENSOR AND MINUTE PRESSURE CHANGE DETECTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02253117(A) 申请公布日期 1990.10.11
申请号 JP19890075566 申请日期 1989.03.28
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 ARAOGI MASATAKA
分类号 G01L9/00;G01D5/14;G01L9/04;H01L29/84 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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