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发明名称 GERAET ZUR WAFER-INSPEKTION.
摘要
申请公布号 DE3579518(D1) 申请公布日期 1990.10.11
申请号 DE19853579518 申请日期 1985.06.14
申请人 HEIDELBERG INSTRUMENTS GMBH, 6900 HEIDELBERG, DE 发明人 BILLE, PROF. DR., JOSEF;HUNKLINGER, PROF. DR., SIEGFRIED, D-6900 HEIDELBERG, DE
分类号 G01N21/64;G01N21/88;G02B21/00;G02B26/10;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
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