PHOTO ASSISTED CVD EQUIPMENT,申请号JP19890071904-传众专利搜索

发明名称	PHOTO ASSISTED CVD EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPH02252234(A)	申请公布日期	1990.10.11
申请号	JP19890071904	申请日期	1989.03.27
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	NAKAJIMA MITSUO;SAKUMA HISASHI
分类号	H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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