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发明名称 ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 AU602323(B2) 申请公布日期 1990.10.11
申请号 AU19870067608 申请日期 1987.01.15
申请人 VSESOJUZNY NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKY INSTRUMENTALNY INSTITUT 发明人 VIKTOR PETROVICH ZHED;ALEXEI GEORGIEVICH GAVRILOV;ELENA IVANOVNA KURBATOVA;ANDREI KARLOVICH SINELSCHIKOV;ALBERT MIKHAILOVICH BOYARUNAS;VITALY MIKHAILOVICH SMIRNOV
分类号 C23C14/02;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/58;(IPC1-7):C23C14/48;C23C14/34 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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