| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND AL WIRING STRUCTURE FOR VLSI AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02252241(A) |
申请公布日期 |
1990.10.11 |
| 申请号 |
JP19890074625 |
申请日期 |
1989.03.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ONUKI HITOSHI;SUWA MOTOHIRO;KAWABUCHI YASUSHI;SHIODA KATSUHIKO;NIHEI MASAYASU |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/321;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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