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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02252265(A) 申请公布日期 1990.10.11
申请号 JP19890074368 申请日期 1989.03.27
申请人 SONY CORP 发明人 HAYASHI HISAO
分类号 H01L27/12;H01L21/02 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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