EVALUATION METHOD OF PATTERN SIZE,申请号JP19890075308-传众专利搜索

发明名称	EVALUATION METHOD OF PATTERN SIZE
摘要
申请公布号	JPH02252252(A)	申请公布日期	1990.10.11
申请号	JP19890075308	申请日期	1989.03.27
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	WATANABE KOJI
分类号	G01R31/26;H01L21/66	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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