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经营范围
发明名称
CLEANING METHOD
摘要
申请公布号
JPH02252237(A)
申请公布日期
1990.10.11
申请号
JP19890072640
申请日期
1989.03.25
申请人
TOKYO ELECTRON LTD;TERU KYUSHU KK
发明人
HIRAKAWA OSAMU;KIMURA YOSHIO;AKUMOTO MASAMI;ANAI NORIYUKI;USHIJIMA MITSURU
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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