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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02252253(A) 申请公布日期 1990.10.11
申请号 JP19890073205 申请日期 1989.03.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 MORI YASUSHI;AKIYAMA SHIGEO;KATO FUMIO;FUJII KAZUHISA
分类号 H01L21/762;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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