| 发明名称 |
THIN FILM DEPOSITION PROCESS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0302684(A3) |
申请公布日期 |
1990.10.10 |
| 申请号 |
EP19880307070 |
申请日期 |
1988.08.01 |
| 申请人 |
PLESSEY OVERSEAS LIMITED |
发明人 |
WORT, CHRISTOPHER JOHN;DOREY, LYNN YVETTE |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/36;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
