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发明名称 METHOD FOR THE FORMATION OF MONOMOLECULAR ADSORPTION FILMS OR BUILT-UP FILMS OF MONOMOLECULAR LAYERS USING SILANE COMPOUNDS HAVING AN ACETYLENE OR DIACETYLENE BOND
摘要
申请公布号 EP0351092(A3) 申请公布日期 1990.10.10
申请号 EP19890306531 申请日期 1989.06.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 TAMURA, HIDEHARU;OGAWA, KAZUFUMI
分类号 B05D1/18;G02F1/361;H01B1/12;H01L21/285;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 B05D1/18
代理机构 代理人
主权项
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