| 发明名称 |
MEASURING VOLTAGE WITH AN ELECTRON PROBE BY MEASURING IN THE FREQUENCY REGION WITH A MODULATED PRIMARY BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0301254(A3) |
申请公布日期 |
1990.10.10 |
| 申请号 |
EP19880110309 |
申请日期 |
1988.06.28 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN |
发明人 |
BRUST, HANS-DETLEF |
| 分类号 |
G01R19/00;G01R31/302;G01R31/305;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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