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发明名称 ALIGNING APPARATUS OF POSITION OF SQUARE-SHAPED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02251787(A) 申请公布日期 1990.10.09
申请号 JP19890074414 申请日期 1989.03.27
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 NAKAMURA YOSHIHIKO
分类号 G12B5/00;G01R31/00 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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