发明名称 Method of providing a semiconductor body on a support
摘要
申请公布号 US4961528(A) 申请公布日期 1990.10.09
申请号 US19890326583 申请日期 1989.03.21
申请人 U.S. PHILIPS CORPORATION 发明人 PETERS, PETRUS J. M.
分类号 H01L23/14;H01L21/02;H01L21/52;H01L21/603 主分类号 H01L23/14
代理机构 代理人
主权项
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