发明名称 Isolated electrostatic wafer blade clamp
摘要
申请公布号 US4962441(A) 申请公布日期 1990.10.09
申请号 US19890335556 申请日期 1989.04.10
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 COLLINS, KENNETH S.
分类号 B65H3/18;B65H5/00;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H02N13/00 主分类号 B65H3/18
代理机构 代理人
主权项
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