发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING STRENGTH OF THIN FILM BODY
摘要
申请公布号 JPH02251737(A) 申请公布日期 1990.10.09
申请号 JP19890071704 申请日期 1989.03.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 AMAMIYA KYOKO;ASAO HIROSHI;UENO SHIGEYASU
分类号 G01N3/08;G01N3/00 主分类号 G01N3/08
代理机构 代理人
主权项
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