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发明名称 THIN FILM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02251140(A) 申请公布日期 1990.10.08
申请号 JP19890072164 申请日期 1989.03.24
申请人 SONY CORP 发明人 KOYAMA KAZUHIDE
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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