发明名称 CHEMICAL VAPOR PHASE GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02250972(A) 申请公布日期 1990.10.08
申请号 JP19890073125 申请日期 1989.03.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YONEMURA TOSHIO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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