发明名称 PRODUCTION OF MASK FOR SPUTTERING AND SUBSTRATE WITH PATTERNED COATING FILM FORMED BY SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH02250954(A) 申请公布日期 1990.10.08
申请号 JP19890071451 申请日期 1989.03.23
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD 发明人 HATAJIMA MITSUHISA
分类号 C23C14/04;C03C17/245 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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