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发明名称 WAFER CONVEYING ROBOT FOR CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH02250789(A) 申请公布日期 1990.10.08
申请号 JP19890068884 申请日期 1989.03.20
申请人 HITACHI KIDEN KOGYO LTD 发明人 FUKUWATARI ICHIRO;HORIMOTO TEIJI;KOIZUMI SUSUMU
分类号 B25J19/00;B25J9/06 主分类号 B25J19/00
代理机构 代理人
主权项
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