发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02251172(A) 申请公布日期 1990.10.08
申请号 JP19890073227 申请日期 1989.03.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKADA JOJI
分类号 H01L21/8247;H01L27/10;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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